-前言-

中华人民共和国国家标准

特种气系一切工程手艺标准

Technical standard for specialty gas system engineering

GB 50646-2020

主编部分：中华人民共和国工业和信息化部

批准部分：中华人民共和国住房和城乡建设部

施行日期：2020年10月1日

中华人民共和国住房和城乡建设部通告

2020年 第59号

住房和城乡建设部关于宣布国家标准《特种气系一切工程手艺标准》的通告

现批准(特种气系一切工程手艺标准》为国家标准,编号为GB 50646-2020,自2020年10月1日起实验
。其中,第3.1.5(1、2）、3.1.6、3.2.5、3.2.6、3.2.7、3.3.7、3.3.8、4.2.1（2、5、6）、4.3.1、4.4.4、4.4.7、5.2.1（1、2、3、4、5）、5.2.3（1、2、3）、5.2.6、5.4.5、6.1.3、6.1.4、6.2.6、7.2.1、7.2.9、9.1.3、9.2.5、9.2.6（1）,9.3.2、9.3.15、9.3.17、10.6.2（7）、10.7.2条（款）为强制性条文,必需严酷执行
。原国家标准(特种气系一切工程手艺规范》GB 50646-2011 同时废止
。

本标准在住房和城乡建设部分户网站( www. mohurd. gov. cn）果真,并由住房和城乡建设部标准定额研究所组织中国妄想出书社出书刊行
。

中华人民共和国住房和城乡建设部

2020年2月27日

凭证住房城乡建设部《关于印发(2017年工程建设标准制订、修订及相关事情妄想>的通知建标[2016]248号)的要求，由信息工业电子第十一研究院科技工程股份有限公司和中国电子系统工程第二建设有限公司会同有关单位配合体例完成
。

本标准在体例历程中，体例组凭证我国特种气系一切种种站房的设计、制作和运行的现真相形，举行了普遍的视察研究，同时思量我国特种气体的手艺泉源情形，对外洋的有关标准举行了研读，并在天下规模内普遍向有关单位或小我私家征求意见的基础上，修改、完善标准，最后经审查定稿
。

本标准的主要手艺内容是:总则、术语、特种气体站房、特种气体工艺系统、生命清静系统、特种气体管道运送系统、修建结构、电气与防雷、公用工程、特种气系一切工程施工、特种气系一切工程验收等
。

本标准修订的主要手艺内容是1.作废规范中的第5章“硅烷站”的设置，凭证其专业内容划分并入第3章至第9章的相关章节
。

2.合并规范中的第10章“给水排水及消防”和第11章“采暖透风与空气调理”，合并后为新标准的第9章“公用工程”
。

3.凭证我国工程建设的现真相形及外洋相关规范的内容，修改了第3章“特种气体站房”的部分内容
。

4.将第11章“特种气系一切验收”的部分内容纳入该章节的条文说明
。

本标准中以黑体字标记的条文为强制性条文，必需严酷执行
。

本标准由住房和城乡建设部认真治理和对强制性条文的诠释，由工业和信息化部认真一样平常治理，由信息工业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司认真详细手艺内容的诠释
。在执行本标准的历程中，请各单位连系工程实践，认真总结履历，如发明需要修改或增补之处，请将意见和有关资料寄至信息工业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司(地点:四川成都会双林路251号；邮编:610021;传真:028-84333172;E-mail:edrill @ edri.cn)，以供以后修订时参考
。

本标准主编单位:信息工业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司

中国电子系统工程第二建设有限公司

本标准参编单位:上海正帆科技股份有限公司

中国电子工程设计院有限公司

工业和信息化部电子工业标准化研究院

液化空气(中国)投资有限公司

咸阳彩虹光电科技有限公司

成都爱德工程有限公司

中国电子科技集团公司第五十八研究所

本标准主要起草职员:李骥 吴军 闫诗源 薛长立 黄勇 李东升 江元升 欧华星 夏双兵 陆崎 张家红 王凌旭 宋燕 钱春健 朱梅君 薛首文 毛冬凯 胡天碧 王鹏亮 顾爱军

本标准主要审查职员:郑秉孝 侯文川 崔永祥 刘小娇 薛东升 姜剑锋 周礼誉 张志辉 孙效义

-1 总则-

1.0.1 为了在电子工业工厂特种气系一切及配套装置的工程设计、施工及验收中贯彻国家现行执法、规则，知足产品生产要求，确保人身和工业清静、做到清静适用、手艺先进、；で樾巍⒔谠寄茉础⒕煤侠，制订本标准
。

1.0.2 本标准适用于新建、改建、扩建的电子工业的特种气系一切工程中的设计、施工和验收
。

1.0.3 本标准不适用于特种气体的制取、提纯、灌装等生产及配套装置的工程设计、施工和验收
。

1.0.4 特种气系一切工程的设计、施工及验收除应切合本标准的划定外，尚应切合国家现行有关标准的划定
。

-2 术语-

2.0.1 特种气体 specialty gas

电子产品生产外延、化学气相沉积、刻蚀、掺杂等工艺中使用的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、侵蚀性、氧化性、惰性等特殊气体
。

2.0.2 自燃性气体 pyrophoric gas

也称作生气气体，是指在空气中即是或低于 54°C时可能自燃的易燃气体
。

2.0.3 易燃性气体 flammable gas

-种在 20℃和标准压力101.3kPa状态时空气混淆有-定易燃规模的气体
。

2.0.4 剧毒性气体 highly toxic gas

半致死浓度(空气中吸入4h)小于或即是100mL/m³的气体
。

2.0.5 毒性气体 toxic gas

半致死浓度(空气中吸入4h)大于100mL/m³但不凌驾2500mL/m³的气体
。

2.0.6 侵蚀性气体 corrosive gas

对证料某人体组织通过接触爆发化学反应引起可见破损或不可逆转变的气体
。

2.0.7 氧化性气体 oxidizing gas

-般通过提供氧气，比空气更能导致和促使其他物质燃烧的任何气体
。

2.0.8 惰性气体 inert gas

在-般情形下不会与其他物质爆发化学反应的气体
。

2.0.9 低蒸汽压实力体 low vapor pressure gas

在室温下的饱和蒸气压小于0.2MPa 的气体
。

2.0.10 特种气系一切 specialty gas system

特种气体的贮存、运送与分派历程的装备、管道和附件的总称
。

2.0.11 大宗硅烷系统 bulk silane system

是指包括ISO标准集装瓶组、长管拖车、钢瓶集装格、Y型卧式钢瓶，或总的水容积凌驾 250L的硅烷系统
。

2.0.12 大宗特种气系一切 bulk specialty gas system

-般指单个气体装备容积大于400L的特种气体贮存和送气系统
。

2.0.13 液态特种气系一切 liquid specialty gas system

是指以液态运送、分派，在用户终端举行汽化的特种气系一切
。

2.0.14 气体探测系统 gas detector system(GDS)

设置在特种气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘及其他特种气体运送装备与管道所笼罩区域，通过检测笔笔气体或关联气体在空气中的浓度来判断笔笔气体的走漏，从而爆发声光报警信号、提供探测数据的系统
。

2.0.15 气体治理系统 gas management system(GMS）

包括特种气体探测系统、应急处置惩罚系统、事情治理系统、监视系统、数据传输与处置惩罚系统的气体治理与控制系统的统称
。

2.0.16 生产区 fabrication area

电子生产厂房内安排生产装备及相关的研发、测试的区域，有些生产历程将使用危险性生产质料，该区域为生产厂房的焦点区域
。

2.0.17 特种气体间 specialty gas room

电子生产厂房安排特种气瓶柜、气瓶架、卧式气瓶、气瓶集装格、尾气处置惩罚装置等气体装备，并通过管道向生产装备运送特种气体的房间
。

2.0.18 特种气体站 specialty gas station

电子工厂安排卧式气瓶、气瓶集装格、IS0标准集装瓶组、长管拖车、尾气处置惩罚装置等气体装备，并通过管道向用生产厂房气装备运送特种气体的自力建(构)筑物
。

2.0.19 特种气体站房 specialty gas station and room

是指在电子工厂特种气体间与特种气体站的统称
。

2.0.20 硅烷站 silane station

是指安排硅烷或硅烷混淆气体钢瓶、钢瓶集装格、卧式钢瓶、长管拖车或ISO标准集装瓶组、硅烷气化妆置、尾气处置惩罚装置、电气装置等，并通过管道向生产厂房供应硅烷气体的自力建(构)筑物或区域
。

2.0.21 气瓶集装格the bundle of gas cylinders用专用金属框架牢靠，接纳集气管将多只气体钢瓶接口并联组合的气体钢瓶组单位
。

2.0.22 ISO标准集装瓶组 ISO module

接纳集气管将气体钢瓶、长管钢瓶或气瓶集装格相互毗连并装置在专用金属框架上的组合集装？
。

2.0.23 气瓶柜 gas cabinet(GC)

特种气体使用的关闭式气瓶安排与气体运送装备
。

2.0.24 气瓶架 gas rack(GR)

特种气体使用的开放式气瓶安排与气体运送装备
。

2.0.25 阀门箱 valve manifold box(VMB）

特种气体在运送历程中使用的关闭式管道分派箱体，用于向-个或多个工艺装备提供特种气体
。

2.0.26 阀门盘 valve manifold panel(VMP)

特种气体在运送历程中使用的开放式管道分派装置，用于向-个或多个工艺装备提供特种气体
。

2.0.27 尾气处置惩罚装置 local scrubber

自燃性、易燃性、剧毒性、侵蚀性等气体的排气与吹扫气体的现场处置惩罚装置，处置惩罚后的尾气抵达划定排放浓度，并排入用气车间的排气管道
。

2.0.28 卧式气瓶 horizontal cylinder

用于贮存较多特种气体的气瓶
。-般水容积为450L、950L
。

2.0.29 限流孔板 restrict flow orifice（RFO)

限制流系一切最大流量的-种装置
。

2.0.30 过流开关 excess flow switch(EFS)

流系一切的流量凌驾设定值时，给出开关信号
。

2.0.31 负压气源 sub-atmospheric gas source(SAGS)

1型:在标准温度和压力下，钢瓶内和阀门出口均为负压的气源
。

2型:在标准温度和压力下，钢瓶内为正压，阀门出口为负压的气源
。

2.0.32 不相容性 incompatible

差别气体混淆后即爆发化学反应，释放出能量并对情形爆发危害作用的特征
。

2.0.33 吹扫 purge

用氮气或惰性气体对特种气系一切内的笔笔气体或事情气体举行置换的历程
。

2.0.34 排气 vent

特种气体装备与系统中倾轧的笔笔气体或事情气体
。

2.0.35 气体面板 gas panel

集成切断阀门、调压阀、过滤器、压力计等零部件的专用设施
。

2.0.36 半致死浓度 lethal concentration 50(LC50)

在空气中使康健的成年明确鼠一连吸入1h，能引起受试白鼠在14d内殒命-半的气体的浓度
。

2.0.37 爆炸浓度下限值 low explosion limit(LEL)

易燃性气体在空气或氧化气体中爆发爆炸的浓度下限值
。

2.0.38 最高允许浓度值threshold limit value(TLV)

毒性气体在空气中的浓度小于该值时，充分且一连袒露于该情形中的作用职员的康健不会受到损害
。

2.0.39 最高允许浓度值-时间加权平均允许浓度 limit value- time weighted average(TLV-TWA)threshold

作业职员按天天8h，每周5d事情制事情，康健不会受到损害的毒性气体时间加权平均浓度
。

-3 特种气体站房-

3.1 一样平常划定

3.1.1 特种气体站房应安排在自力的建(构)筑物或生产厂房的特种气体间内
。

3.1.2 安排在生产厂房内的特种气体间，可接纳气瓶柜、气瓶架、卧式气瓶、气瓶集装格等向生产装备供应特种气体
。

3.1.3 安排在单独建(构)筑物的特种气体站，可接纳气瓶集装格、卧式气瓶、ISO标准集装瓶组、长管拖车等向生产装备供应特种气体
。

3.1.4 安排在生产区的特种气体装备应切合下列划定：

1 特种气体的最大允许使用贮存量应切合表3.1.4的划定；

2 特种气体应设置气瓶柜、排风装置；

3 生产区应设置自动消防喷淋系统，并应用防火隔墙与其他区域相互隔离；当特种气体的使用贮存量凌驾表3.1.4划定的数目时，应设置特种气体间
。

表3.1.4 生产厂房生产区最大允许使用贮存量

注：气体总量为标准状态下的气体体积量
。

3.1.5特种气体间的设计应切合下列划定：

1 特种气体间应设置排风系统，并应按负压设计；

2 特种气体间应接纳防火隔墙相互隔离；

3 特种气体间的设计应切合现行国家标准《修建设计防火规范》GB50016的有关划定
。

3.1.6 当生产厂房内的自燃性特种气体的贮存量凌驾57m³时，应设置自力的特种气体站
。

3.1.7 生产厂房内生产区的低蒸汽压力特种气体装备宜靠近生产装备安排
。

3.1.8 特种气体间应集中安排在生产厂房一楼或其他辅助楼层，位置宜靠外墙
。

3.1.9 特种气体间的周围区域宜安排货运通道、货运电梯等运输设施
。

3.2 特种气体站房安排

3.2.1 特种气体应凭证其物理化学性能及清静特征举行分类和工程设计
。

3.2.2特种气体站房的生产的火灾危险性种别应切合现行国家标准《修建设计防火规范》GB 50016的有关划定
。

3.2.3 生产厂房内的特种气体间凭证气体性子宜分为易燃性气体间、毒性(侵蚀性)气体间、惰性(氧化性)气体间、剧毒性气体间等
。

3.2.4 自力的特种气体站凭证气体种类、兼容性等因索应分为差别种类的特种气体间
。

3.2.5 大宗硅烷系统气体装备应安排在自力的开敞式修建，不得安排在地下室
？ㄊ叫藿ㄓΥ荻フ谘，外墙面的遮挡部分不得大于三面，且墙体与墙体之间、墙体与屋顶结构之间应设置自然透风的空间
。硅烷容器与周围障碍物的最小距离小于障碍物高度的2倍时，大宗硅烷系统应设置机械透风
。

3.2.6 硅烷站内大宗容器之间以及容器与工艺气体盘之间的距离小于9m时，应设置 2h以上的防火阻遏
。

3.2.7 硅烷气瓶柜内的硅烷钢瓶应牢靠在钢架上，两个钢瓶之间应接纳钢板隔离，钢板厚度应大于或即是6mm
。

3.2.8 非大宗硅烷系统气体装备可安排在室内，不得建在地下室
。

3.2.9 安排在开敞式修建中的大宗硅烷站应在装备区域设置防雨防晒步伐
。

3.3 特种气体装备安排

3.3.1 不相容特种气体的气瓶架应安排在差别房间里；当安排在统一房间时，气瓶架之间的距离应大于6m
。

3.3.2 同时具有易燃性和毒性气体的装备应放在易燃性气体间
。

3.3.3 特种气体房间内的气瓶柜、气瓶架、尾气处置惩罚装置、气瓶集装格等装备宜靠墙安排，具有相同或相近性子的气体装备应安排在一起
。

3.3.4 特种气体间的中心通道宽度不得小于2m，特种气体装备的安排应预留知足装备运输、维修与操作、清静逃生的空间
。

3.3.5 液化特种气体装备和系统应凭证其气体特征设置加热装置
。

3.3.6 液化特种气体装备应设置差别种类的磅秤装置
。

3.3.7 剧毒性特种气体供应间应设置专用容器或堵漏工具、排风装置和剧毒性特种气体在事故状态下的排风处置惩罚装置
。

3.3.8 剧毒性特种气体供应间应设置双锁清静门、防盗窗和避免职员入侵的手艺提防设施
。

3.3.9 特种气体站房内特种气体生产储量抵达重大危险源的数目时，设计应切合现行国家标准《危险化学品重大危险源辨识》GB18218的有关划定
。

3.3.10 特种气系一切的电气控制室的设计应切合下列划定：

1 电气控制室应安排在与特种气体间相邻的控制室内；

2 电气控制室应以耐火极限不小于3.0h的隔墙和不低于1.50h的楼板与特种气体间离隔，穿越隔墙的管道孔隙应以防火质料填堵
。

-4 特种气体工艺系统-

4.1 一样平常划定

4.1.1 特种气体工艺系统应设置下列主要装置：

1 贮存、供气的气瓶柜、气瓶架、集装格、卧式气瓶、长管拖车；

2 气体分派用阀门箱、阀门盘；

3 辅助氮气吹扫系统；

4 尾气处置惩罚装置
。

4.1.2 特种气体工艺系统的设计应知足电子产品生产工艺对特种气体工艺参数、污染控制、使用清静的要求
。

4.1.3 不相容的特种气体的排气管道不得接人统一排气系统
。

4.1.4 不相容的特种气体的排风管道不得接入统一排风系统
。

4.2 特种气体运送系统

4.2.1 特种气系一切的气瓶柜、气瓶架的设置应切合下列划定：

1 气瓶柜与气瓶架可接纳单工艺气瓶外置吹扫气源、双工艺气瓶外置吹扫气源、双工艺气瓶内置吹扫气源等多种结构设置；

2 不相容气体瓶不应安排于统一气瓶柜或气瓶架中；

3 气瓶柜、气瓶架应设置作业用气体面板；

4 系统的供应能力应经由热力学和流体力学盘算核实；

5 气瓶柜闭门时应坚持不低于100Pa负压，柜内的排风换气次数不得低于300次/h；

6 自燃性、易燃性、毒性、侵蚀性气瓶柜应在排风出口设置牢靠式气体走漏探测器；

7 气瓶柜柜体外壳钢板厚度不应小于2.5mm,并应有防侵蚀涂层；

8 气瓶柜门应具备自动关闭功效，并应配备防爆玻璃视察窗；气瓶柜的牢靠螺栓设计应知足外地地动设防烈度的要求；

9 气瓶柜、气瓶架应设置清晰明确的清静标识牌；

10 当气瓶柜安排在有爆炸和火灾危险情形时，其设计应切合现行国家标准(爆炸危险情形电力装置设计规范》GB 50058 的有关划定
。

4.2.2 特种气体的气瓶柜、气瓶架的气体面板设置应切合下列划定：

1 自燃性、易燃性、毒性、侵蚀性气体面板应设有紧迫关断阀门，并应为常闭气动阀门，位置应靠近气瓶；

2 气瓶压力大于0.1MPa的自燃性、易燃性、毒性、侵蚀性气体面板应设有过流开关；

3 自燃性、易燃性、毒性、侵蚀性气体面板应设有惰性气体吹扫、辅助抽真空装置，真空管路应设止回阀；

4 气体面板应设置工艺气体排气口
。

4.2.3 可燃和自燃性特种气体的气瓶柜应切合下列划定：

1 当硅烷气瓶使用直径0.25mm限流孔时，气瓶柜的排风换气次数不得低于1200次/h，当使用直径0.15mm 限流孔时，气瓶柜的排风换气次数不得低于400次/h，且气瓶柜的负压应一连监控；

2 白燃性特种气体的气瓶柜应设置紫外、红外火焰探测器；

3 易燃性特种气体的气瓶柜应设置水喷淋系统；

4 自燃性特种气体的气瓶柜应在气瓶之间设置隔离钢板
。

4.2.4 大宗特种气系一切应切合下列划定：

1 应设置自力气瓶储罐或长管拖车等的压力指示或钢瓶称重装置、毗连回型管、气流控制的气体面板、吹扫氮气单位、电气控制柜等装置；

2 大宗特种气系一切的功效配备应切合本标准第4.2.1条的有关划定；

3 液态气体瓶应设计钢瓶加热与保温装置；

4 减压降温效应显著的气体，应在减压前对气体举行预热
。

4.2.5 液态特种气系一切的设置应切合下列划定：

1 应设置自力的液体槽罐、液体运送柜、毗连回型管、驱动气体单位、吹扫氮气单位、电气控制柜、重量计量等装置；

2 液态特种气系一切宜使用驱动气体压力将液态特种气体从槽罐运送至液态特种气体柜，或从液态特种气体柜直接驱动运送至用气工艺装备，液态特种气体亦可接纳泵送；

3 用气点应设置鼓泡器或蒸发器，将液态特种气体鼓泡或直接蒸发，以汽化形式运送至工艺反应装备；

4 液态特种气瓶柜功效设置应切合本标准第4.2.1条的有关划定；

5 具有自燃性和遇水反应性的金属有机物前驱体液体，供应柜应设置响应灭火系统；底部应设置网络槽，并应安排吸附质料
。

4.2.6 自燃性、易燃性、毒性、侵蚀性特种气系一切的阀门箱设置应切合下列划定：

1 应设置进气管路隔离阀及压力指示装置；

2 气体支路应设有自力的压力控制调理阀、过滤器；

3 气体支路应设有自力的出口隔离阀；

4 气体分支路应设置自力的吹扫气体装置
。

4.2.7 惰性及氧化性特种气系一切的阀门盘设置应切合下列划定：

1 应设有进气管路隔离阀及压力指示装置：

2 气体支路应设有自力的压力控制调理阀、过滤器；

3 气体支路应设有自力出口隔离阀门
。

4.2.8 负压气源特种气体的气瓶柜、气瓶架的设置应切合负压气源特种气体的特征
。

4.3 吹扫和排气系统

4.3.1 特种气系一切吹扫气体的设置应切合下列划定：

1 自燃性、易燃性、毒性、侵蚀性特种气系一切的吹扫气体应与自力的气源毗连，不得与公用气源或工艺气源系统相连；

2 不相容性特种气系一切的吹扫气体不得共用统一气源；

3 吹扫气体管线应设置止回阀
。

4.3.2 吹扫氮气的气体面板应设有压力调理阀、排气管、崎岖压阻止阀、崎岖压压力指示装置、清静阀
。

4.3.3 特种气系一切的辅助抽真空装置的设置应切合下列划定：

1 真空爆发器宜接纳氮气作为引射气源；

2 抽真空用氮气可由公用通俗氮气供应；自燃性和侵蚀性气体，氮气供应管道应设置止回阀和微漏阀
。

4.3.4 特种气体排气与废气处置惩罚的设置应切合下列划定：

1 特种气系一切的排气管应设置氮气稀释与一连吹扫装置；

2 自燃性、易燃性、毒性、侵蚀性特种气体的排空气体应经由尾气处置惩罚装置处置惩罚，处置惩罚后的气体应切合现行国家废气排放要求
。

4.3.5 特种气体尾气处置惩罚装置的设置应切合下列划定：

1 尾气处置惩罚装置的类型，应凭证所处置惩罚的排气中特种气体的特征举行选择，不相容特种气体应划分设置尾气处置惩罚装置；

2 尾气处置惩罚装置应靠近特种气体柜、气瓶架等特种气体装备安排；

3 特种气体的尾气处置惩罚要领宜接纳干式吸附、湿式洗涤、加热剖析、燃烧、等离子剖析、稀释及以上几种处置惩罚方法的组合
。

4.4 硅烷工艺系统

4.4.1 硅烷工艺系统的设计应凭证下列因素确定：

1 硅烷站的规模；

2 硅烷的物理化学性子；

3 外地硅烷供应的充装、运输状态；

4 用户对硅烷纯度、压力和负荷转变的要求
。

4.4.2 硅烷运送系统应设有硅烷容器、气体面板、阀门箱及毗连受道
。

4.4.3 硅烷气体面板应包括减压过滤、吹扫、排气、清静控制的功效
。

4.4.4 硅烷系统必需接纳自力的惰性气源举行吹扫
。

4.4.5 硅烷阀门箱设置除应切合本标准第4.2.6条的划定外，还应设置惰性气体吹扫装置、气体走漏探测器和紫外红外火焰探测器
。

4.4.6 硅烷系统的排气装置的设置应切合下列划定：

1 硅烷系统的排气管不得接入排风系统；

2 排气管应接纳惰性气体一连吹扫，吹扫气体流速不得小于0.3m/s
。

4.4.7 硅烷毗连受道钢瓶侧应设置常闭式紧迫切断阀，硅烷站的清静出口应设置手动紧迫切断按钮，至少有一个手动紧迫切断按钮与运送装置的距离不应小于4.6m
。

4.4.8 硅烷系统阀门、附件的设置应切合下列划定：

1 硅烷运送系统应接纳金属材质的波纹管阀、隔膜阀、调压阀；

2 硅烷运送系统应凭证流量设置差别直径的限流孔板：

3 硅烷系统应设置过流开关、紧迫切断阀，调压阀的加热装置应凭证流量核算确定
。

-5 生命清静系统-

5.1 特种气体治理系统

5.1.1 应用多种特种气体的生产厂房宜设特种气体治理系统，并应切合下列划定：

1 特种气体治理系统应设置特种气体的一连检测、指示、报警的功效，并应能纪录、存储和打
；

2 特种气体治理系统宜为自力的系统，应具有特种气体探测、应急处置惩罚、事情治理、监视、数据传输与处置惩罚的功效；

3 特种气体治理系统宜与工厂装备治理控制系统和消防报警控制系统通过数据总线相连
。

5.1.2 特种气体治理系统应设在全厂动力控制中心，在消防控制室和应急处置惩罚中心宜设特种气体报警显示单位和集中应急阀门切断控制盘
。

5.1.3 特种气体气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘的可编程控制器的通讯接口应与气体治理辖档同接
。

5.2 特种气体探测系统

5.2.1 贮存、运送、使用特种气体的下列区域或场合应设置特种气体探测装置：

1 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、侵蚀性气体气瓶柜和阀门箱的排风管口处；

2 生产工艺装备的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、侵蚀性气体阀门箱的排风管口处，工艺装备的排风管口处；

3 生产工艺装备的特种气体的废气处置惩罚装置排风出管口处；

4 惰性气体间可能爆发窒息的区域；

5 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、侵蚀性气体装备间；

6 其他可能爆发走漏的自燃性、易燃性、剧毒性、毒性、侵蚀性气体的情形
。

5.2.2 易燃性、自燃性特种气体探测系统、有毒气体检测装置应设置一级报警或二级报警
。

5.2.3 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性气体、氧气检测装置报警设定值应切合下列划定：

1 自燃性、易燃性气体的一级报警设定值不应大于25%易燃性气体爆炸浓度下限值，二级报警设定值不应大于50%易燃性气体爆炸浓度下限值；

2 剧毒性、毒性气体的一级报警设定值不应大于 50%空气中有害物质的最高允许浓度值一时间加权平均允许浓度(TLV-TWA)，二级报警设定值不应大于100%空气中有害物质的最高允许浓度值一时间加权平均允许浓度(TLV-TWA)；

3 设在惰性气体间的氧气探测器，其一级报警设定值不应小于19.5%氧气体积浓度(V/V)，二级报警设定值不应小于18%氧气体积浓度(V/V)；

4 二氧化碳气系一切宜设二氧化碳气体探测器，其报警设定值应为5000ppm
。

5.2.4 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性气体、氧气检测装置的检测报警响应时间应切合下列划定：

1 自燃性、易燃性气体检测报警接纳扩散式应小于20s，吸入式应小于 15s；

2 剧毒性、毒性气体检测报警接纳扩散式应小于40s，吸入式应小于20s；

3 氧气检测报警接纳扩散式应小于20s，吸入式应小于15s
。

5.2.5 当特种气体相对密度小于或即是0.75时，特种气体探测器应同时设置在释放源上方和厂房最高点易积气处
。当特种气体相对密度大于0.75 时，特气体探测器应设置在释放源下方离地面0.3m~0. 5m处
。

5.2.6 硅烷排风管道的气体探测器的报警设定值，应小于或即是50ppm，并应与硅烷气源的自动切断阀联锁；硅烷站情形气体探测器的报警设定值应小于或即是5ppm，情形气体探测器报警时，硅烷控制系统不应自动切断硅烷运送管路
。

5.2.7 有机金属前躯体质料应设置响应的侦测及火灾报警装置，当无对应侦测器时，应凭证其剖析物选择侦测器
。

5.3 其他清静设施

5.3.1 自燃性、易燃性、剧毒性、毒性气体的贮存、分派及使用场合的清静设施应切合下列划定：

1 应设置数字式视频监控摄像机和门禁；

2 生产厂房入口处、气瓶柜间入口处、清洁室内宜设置清静治理显示屏；

3 使用场合内及相关修建主入口、内通道等处应设置灯光闪灼报警装置，灯光颜色应与其他灯光报警装置相区别；

4 入口处应设紧迫手动按钮，应急处置惩罚中心室也应设紧迫手动按钮；

5 用于自燃性、易燃性、剧毒性、毒性气体的贮存、分派及使用场合的监控视频图像宜预留通过网络接入政府清静监视、治理部分的接口，且监控视频图像存储时间不应低于30d
。

5.3.2 在地动多发地区，使用特种气体的主要生产车间宜设置地动探测装置，地动探测信号应与特种气体探测系统相连
。

5.3.3 特种气体站房内应在气瓶柜的基座上设置一台地动探测装置，并应以气体站房为基准点，等距离三角形延伸厂区内另外两点设置地动探测装置
。地动探测装置不得设置于职员收支频仍的所在，并应阻止受外力滋扰而造成误行动
。

5.3.4 关闭的自燃性、易燃性气体的特种气体间宜设置防爆紫外、红外火焰探测器
。

5.3.5 特种气体站房应设置防毒面具、自给式呼吸器等清静防护设施
。

5.3.6 特种气体站衡宇顶最高点处应设置显着的风向标
。

5.4 特种气体报警的联动控制

5.4.1 特种气体探测系统在确认气体走漏时，应自动关闭相关部位的气体切断阀，并应接受反响信号，特种气体站房的事故透风装置应与其气体走漏和气体切断信号联锁
。

5.4.2 特种气体探测系统确认气体走漏时，应自动启动走漏现场的声光报警装置，该声光报警应有别于火灾报警装置，并应自动启动应急广播系统
。

5.4.3 特种气体探测系统确认气体走漏后，应关闭有关部位的电动防火门、防火卷帘门，自动释放门禁，可联动闭路电视监控系统，应启动响应区域的摄像机，并应自动录像
。

5.4.4 地动探测装置探测到里氏5级以上地动，且两台地动探测装置同时报警时，特种气体治理系统确认收到的信号后，应启动现场的声光报警装置;同时，应关闭气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘的切断阀门
。

5.4.5 室外大宗硅烷系统的钢瓶区域内必需设置紫外、红外火焰探测器；室内硅烷运送系统应接纳火焰探测器或感温探测器
。

-6 特种气体管道运送系统-

6.1 一样平常划定

6.1.1 特种气体管道运送系统应包括特种气体贮存、分派管道系统、工艺装备和尾气处置惩罚系统的管道以及管件、阀门、过滤器、减压装置、压力释放装置、压力监测装置等部件
。

6.1.2 生产厂房内特种气体管道的主干管，应敷设在手艺夹层或手艺夹道内;当与水电管线共架时，特种气体的管道宜设在水、电管线上部
。

6.1.3 生产厂 房清洁室内的自燃性、易燃性和毒性特种气体管道应明敷，并应接纳焊接
。

6.1.4 特种气体穿过生产区墙壁 与楼板处的管段应设置套管，套管内的管道不得有焊缝，套管与管道之间应接纳密封步伐
。易燃性、毒性、侵蚀性特种气体管道的机械毗连处，应置于排风罩内
。

6.1.5 自燃性、易燃性、毒性特种气体管道应阻止穿过不使用此类气体的房间，当必需穿过时应设套管或使用双层管
。

6.1.6 特种气体管道不宜泛起盲管及U形弯等死区
。

6.1.7 易燃性、氧化性特种气体管道，应设置防静电接地
。

6.1.8 室外布 置的特种气体管道宜倾轧安排
。

6.2 质料选型

6.2.1 特种气体管道和管件应接纳奥氏体不锈钢无缝钢管，内外貌应举行清洁和钝化处置惩罚
。

6.2.2 侵蚀性气体管道，宜接纳二次真空电弧熔炼的奥氏体不锈钢或镍基合金质料的无缝钢管，内外貌应举行清洁和钝化处置惩罚
。

6.2.3 特种气体阀门的密封座材质应与气体性子匹配
。

6.2.4 双层管的外层管道宜接纳不锈钢管道，内层管道应按所运送特种气体的性子匹配
。

6.2.5 特种气系一切的排气、尾气真空管道宜接纳通俗不锈钢管道，并应经由脱脂处置惩罚
。

6.2.6 氧化性气系一切应接纳专用禁油阀门、附件和管材，并应举行脱脂处置惩罚
。

6.3 管道设计

6.3.1 特种气体管道的设计应凭证运送流体的特征参数，并连系管道安排、情形等举行，并应切合现行国家标准《工业金属管道设计规范》GB50316的有关划定
。

6.3.2 特种气体管道的设计应切适用气装备对流量、压力的要求，并应切合现行行业标准《化工装置工艺系统工程设计手艺划定》HG/T 20570的有关划定
。

6.3.3 管材的壁厚应切合现行国家标准《流体运送用不锈钢无缝钢管》GB/T 14976的有关划定
。

6.3.4 液态特种气体水平管道的坡度不应小于0.3%，坡度应坡向供液装备或网络器
。

6.3.5 具有自燃性、剧毒性、强侵蚀性的特种气体，宜接纳双套管设计
。

6.3.6 低蒸汽压特种气体的管道应设置伴热和保温步伐，加热温度不宜凌驾50℃
。

6.3.7 特种气体管道宜接纳全自动轨道焊接
。阀件或管件毗连处应接纳径向面密封毗连，不宜接纳螺纹或法兰毗连
。

6.3.8 特种气体阀门应接纳隔膜阀或波纹管阀
。

6.3.9 特种气体管道毗连用密封垫片宜选用不锈钢或镍垫片，垫片的材质与特种气体的性子应相容
。

6.3.10 特种气体运送系统易爆发颗粒的阀件下游宜装置过滤器
。

6.4 管道标识

6.4.1 特种气体管道应举行管道标识
。

6.4.2 特种气体管道应以差别颜色、字体等标识气体名称、主要危险特征和流向，并应切合表6.4.2的划定
。

表6.4.2 特种气体管路标识要求

6.4.3 管道标识的形貌、顺序和间距可凭证现真相形举行调解，形貌宜为内容物化学分子式、中文名、主要危险特征、流动偏向(图6.4.3)
。

图6.4.3 管道标识

6.4.4 标识的尺寸应按管径确定，并应切合表6.4.4的划定，标识较长时，可凭证现实需要增添标识长度
。

表6.4.4 标识尺寸与管径的比照

6.4.5 管道上粘贴标识应切合下列划定:

1 管道内径小于或即是100mm的水平直管道，以职员视线为基准方位，应每隔3m粘贴一张；管道内径大于100mm 的水平管道，以职员视线为基准方位，应每隔6m粘贴一张；

2 管道内径小于或即是100mm的笔直管道，应每隔 2m粘贴一张，并应以地面向上150cm 处为基准位置粘贴一张；管道内径大于100mm的笔直管道，应每隔4m粘贴一张，并应以地面向上150cm处为基准位置粘贴一张；

3 管道阀件、弯头的毗连处，工艺装备与管道的毗连处，以及管道穿越墙、壁、楼板的两侧部分都应各粘贴一张；标识粘贴应整齐、牢靠，水平管道的标识中心应相互对齐，笔直管道的标识上边沿应对齐
。

-7 修建结构-

7.1 一样平常划定

7.1.1 特种气体站的平面安排应切合下列划定：

1 特种气体站应安排在辅助生产区，且远离有明火或散生气花的所在；

2 特种气体站不得安排在职员麋集地段和主要交通要道邻近处；

3 特种气体站的设置应利便运输车辆和消防车辆的收支；

4 特种气体站的贮存、分派区域应设有避免车辆撞击的；げ椒；

5 大宗硅烷站宜设置不燃烧体的实体围墙，其高度不应小于2.0m
。

7.1.2 有爆炸危险的特种气体站房的承重结构宜接纳钢筋混凝土或钢框架、排架结构
。钢框架、排架结构应接纳防火；げ椒，侵蚀性特种气体间的钢结构、排架结构应接纳防侵蚀；げ椒
。

7.1.3 有爆炸危险的特种气体站房间应设置泄压设施，并应切合现行国家标准《修建设计防火规范》GB 50016的有关划定
。

7.2 修建防火

7.2.1 甲类特种气体站与工厂建(构)筑物的防火间距，不得小于表7.2.1的划定
。

表7.2.1 甲类特种气体站与工厂建(构)筑物的防火间距(m)

注：1 防火间距应按相邻建(构)筑物的外墙、凸出部分外缘、气瓶集装格外缘的最近距离盘算
。

2 甲类特种气体站与甲类客栈之间的防火间距，当第3、4项物品使用储量不大于2t，第12、5.6项物品使用储量不大于5t时，不应小于12m
。

7.2.2 安排于生产厂房的甲、乙类特种气体间的耐火品级不应低于二级，结构构件的耐火极限应该切合现行国家标准《修建设计防火规范》GB 50016的有关划定
。

7.2.3 特种气体站内的装修质料应切合现行国家标准《修建内部装修设计防火规范》GB 50222的有关划定
。

7.2.4 有爆炸危险的特种气体间与无爆炸危险房间之间，应接纳耐火极限不低于4.00h的不燃烧体防爆墙脱离，防爆墙上不应开设门窗洞口；设置双门斗相通时，门应错位安排，门应为甲级防火门
。

7.2.5 特种气体站的电气控制室应设置在自力的房间内：与硅烷气瓶间等有爆炸危险的房间相邻时，相邻的隔墙不得有门窗、洞口，隔墙的耐火极限不得低于3.00h
。

7.2.6 当自燃性、易燃性特种气体管道穿越防火阻遏时，应接纳不燃质料将管道与防火阻遏之间的误差填实封堵，封堵质料的耐火品级与防火阻遏应相同
。

7.2.7 有爆炸危险的特种气体房间的设计应切合下列划定：

1 清静出口不应少于2个，并应疏散安排；

2 相邻2个清静出口最近边沿之间的水平距离不应小于5m，其中1个应直通室外；爆炸危险的特种气体房间通向疏散走道处应设置门斗等防护步伐，门斗隔墙为耐火极限不应低于2.00h 防火隔墙，门应接纳甲级防火门；

3 爆炸危险特种气体的房间面积小于或即是100m²且统一时间的生产人数不凌驾5人时，可设置一个直接通往室外的出口
。

7.2.8 毒性、侵蚀性、惰性气体间的设计应切合下列划定：

1 清静出口不应少于2个，并应疏散安排；

2 相邻2个清静出口最近边沿之间的水平距离不应小于5m，其中1个应直通室外；毒性、侵蚀性、惰性气体间通向疏散走道的门应为乙级防火门；

3 毒性、侵蚀性、惰性气体间的面积小于或即是150m²，且统一时间的作业职员不凌驾10人时，可设置一个直接通往室外的出口
。

7.2.9 硅烷站清静出口的设置应切合下列划定：

1 硅烷站的修建面积大于或即是19m²时，不得少于两个清静出口；修建面积小于19m²时，不得少于一个清静出口；

2 硅烷站内任何所在到最近清静出口的距离不得大于23m
。

7.3 修建结构步伐

7.3.1 特种气体站房净高度宜大于4.5m，并应知足装备与管道安排的要求;关于一些比空气轻的气体、混淆气体，可接纳坡屋顶，并应在屋顶最高处坚持透风优异
。

7.3.2 特种气体房间的疏散门应接纳平开门，并应向疏散偏向开启，疏散门应接纳快开式推杆锁，不得接纳其他形式的锁具
。有爆炸危险房间的门窗应接纳撞击时不爆发火花的质料制作
。

7.3.3 易燃性特种气体相对密度小于或即是0.75时，特种气体间上部应接纳避免气体集聚的步伐
。

7.3.4 易燃性种气体相对密度大于0.75时，特种气体间应切合下列划定:

1 应接纳不爆发火花的地面，并应平整、耐磨、防滑；

2 接纳绝缘质料作整体面层时，应接纳防静电步伐
。

-8 电气与防雷-

8.1 配电与照明

8.1.1 特种气体站房的电力负荷分级应切合下列划定：

1 特种气体站房除磨练插座电源外不应低于二级负荷；

2 气体治理与气体探测系统应设置不中止电源(UPS)
。

8.1.2 特种气体站房中的爆炸性气体情形内电气装备选择不应低于2区，并应切合现行国家标准《爆炸危险情形电力装置设计规范》GB 50058的有关划定
。

8.1.3 特种气体站房的照明灯具宜装置在操作与维修通道处，不宜装置在装备正上方，并应设置备用照明
。

8.2 防雷与接地

8.2.1 特种气体站的防雷分类不应低于第二类防雷修建物，并应接纳防直击雷、防雷电感应和防闪电电涌侵人的步伐
。

8.2.2 排放爆炸危险气体或蒸气的放散管、风管等物体的防雷应切合现行国家标准(《修建物防雷设计规范》GB 50057中第一类防雷修建物的防雷步伐中对管口；す婺５挠泄鼗;突出屋面的排放无爆炸危险气体或蒸气的放散管、风管，以及装有阻火器的放散管、排风管的防雷应切合现行国家标准《修建物防雷设计规范》GB50057中第二类防雷修建物的防雷步伐中的有关划定
。

8.2.3 特种气体管道在收支修建物处应与防闪电感应的接地装置相连
。室外倾轧敷设的特种气体管道，宜每隔 25m接地一次，其攻击接地电阻不宜大于10Ω
。

8.2.4 特种气体装备与管道应接纳防静电接境地伐，在管道收支修建物处、差别分区的情形界线、管道分岔处及直管段每隔 30m处应设防静电接地
。

8.2.5 装备接地端子、管道卡箍或法兰与接地线之间，可接纳螺栓紧固毗连;对有振动、位移的装备和管道，毗连处应加挠性毗连线过渡
。

8.2.6 特种气系一切的电气装备事情接地、；そ拥亍⒎览捉拥匾约胺谰驳缃拥氐炔畋鹩猛窘拥亟幽闪辖拥胤椒ㄊ，接地装置的接地电阻值应按其中的最小值确定
。

8.2.7 防静电接地为单独接地时每组接地电阻宜小于100Ω
。

-9 公用工程-

9.1 给水排水

9.1.1 安排在特种气体站房的给排水管道，应凭证水温顺所在房间的温度与湿度要求接纳隔热和防结露步伐
。

9.1.2 特种气体站房倾轧的有害废水，不应直接排至市政管网
。

9.1.3 毒性、剧毒性、侵蚀性气体的特种气体间应在清静区域设置紧迫冲身洗眼器
。

9.2 消防

9.2.1特种气体站、特种气体间室内外消防的设计应切合现行国家标准《消防给水及消火栓系统手艺规范》GB 50974 和《自动喷水灭火系统设计规范》GB 50081的有关划定
。

9.2.2 特种气体站、特种气体间应设置手提灭火器，设置应知足现行国家标准《修建灭火器设置设计规范》GB 50140的有关划定
。

9.2.3 特种气体站、特种气体间应设置自动喷水灭火系统，喷水强度不应小于 8L/(min·m²)，；っ婊挥π∮160m²，当现实站房面积小于160m²时，可按现实面积盘算
。

9.2.4 特种气体柜带有白动喷水冷却装置时，在厂房内设置的自动喷水灭火系统应为该系统预留管道和信号阀
。

9.2.5 特种气体站、特种气体间内存储的特种气体与水可能爆发强烈反应时，该特种气体间不得接纳水消防系统
。

9.2.6 硅烷站的消防系统应切合下列划定：

1 爆发硅烷火灾时，应紧迫切断硅烷气源，在未切气绝源的情形下，严禁杀绝硅烷火焰；

2 爆发硅烷火灾时，应使用水对钢瓶、储罐等举行冷却；

3 不应使用卤代烷类及二氧化碳灭火器；

4 硅烷站应设置室外消火栓，室外消火栓应设置在距大宗钢瓶46m之内
。

9.2.7 硅烷站的自动喷水系统应切合下列划定：

1 硅烷的运送系统应设置雨淋系统，雨淋系统可接纳手动启动方法，也可接纳自动启动方法，启动装置的位置应远离存储硅烷的装备；

2 雨淋系统设计的喷水强度不应小于12L/(min·m²），火灾延续时间不应小于 2h；雨淋系统；げ课挥Πü柰楦制科可怼⒋笞诠柰榇⒐薇咎；

3 切断硅烷供应系统的同时，启动雨淋系统；

4 当硅烷站设有屋顶等防雨步伐时，修建物自己可接纳自动喷水灭火系统举行；
。设计喷水强度不应小于16L/(min·m²)，；っ婊挥π∮260m²，当现实站房面积小于260m²时，可按现实面积盘算；

5 闭式喷淋系统、雨淋系统应自力设置报警阀
。

9.2.8 存储、分派和使用硅烷的房间应设置自动喷水灭火系统
。

设计喷水强度不应小于12L/(min·m²)，；っ婊挥π∮260m²，当现实房间面积小于260m²时，可按现实面积盘算
。

9.3 采暖透风与空气调理

9.3.1 特气体站房应设置一连的机械透风，透风量应知足气瓶柜的排风要求，且特种气体站房透风换气率不应低于18m³/(h.m²)
。

9.3.2 特种气体气瓶柜、阀门箱应设置机械排风装置
。

9.3.3 凡属下列情形之一时，特种气体站房应划分设置排风系统：

1 两种或两种以上的特种气体混淆后能引起燃烧或爆炸时；

2 特种气体混淆后爆发化学反应，形成更大危害性或侵蚀性的混淆物、化合物时；

3 混淆后形成粉尘
。

9.3.4 大宗特种气体站房应设置事故透风，事故透风量宜凭证事故走漏量盘算确定，但房间换气次数不应小于12次/h
。事故透风应与特种气体站房情形探测器举行联锁，并应在特种气体站房外设置事故透风紧迫按钮
。

9.3.5 硅烷气瓶柜、阀门箱的排风量盘算应切合下列划定：

1 气瓶柜内、阀门箱的硅烷走漏量应凭证硅烷限流孔直径和最大贮存压力盘算：

2 排风量应知足气瓶柜内的硅烷体积浓度小于0.4%
。

9.3.6 硅烷气瓶组直接装置在关闭的房间时，房间排风量盘算应切合下列划定：

1 房间内的硅烷走漏量应凭证硅烷限流孔直径和最大贮存压力盘算；

2 排风量应知足房间内的硅烷体积浓度小于0.4%
。

9.3.7 易燃性、毒性、侵蚀性气瓶柜、阀门箱的排风口与主排风管道毗连的支管应接纳刚性风管
。气瓶柜、阀门箱的排风管路上不应设置防火阀
。大宗有毒性气体容器出口阀门部位应设置抽风罩
。

9.3.8 特种气体间排风口位置应凭证特种气体特征确定，当相对密度小于或即是0.75时，排风口应设置在房间上部，当相对密度大于0.75 时，排风口应设置在房间的下部
。

9.3.9 特种气体装备排风和站房排风，应凭证排风的危害性和浓度设置处置惩罚装置
。

9.3.10 特种气体间透风系统应设置备用机组
。特种气体间透风系统电源应设置应急电源
。

9.3.11 特种气体站房宜设置空调系统，并应切合下列划定：

1 室内温度、湿度设计参数应知足气瓶柜的要求，当气瓶柜无详细要求时，室内设计参数宜知足温度为 23℃±5℃C，湿度为30%～70%的情形要求；

2不得接纳循环空气
。

9.3.12 空调风管不应穿越特种气体间之间的脱离墙
。

9.3.13 空调系统宜设置备用空调机组，或接纳步伐包管在空调机组维护或故障时，能知足特种气体房间的透风要求
。

9.3.14 空调系统宜设置应急电源
。

9.3.15 特种气体装备及站房排风管道及空调风管应接纳不燃质料制作，保温应接纳不燃或难燃质料，侵蚀性特种气体的排风管道应接纳耐侵蚀质料制作
。

9.3.16特种气体装备排风管道、站房透风管道及空调风管应设置防静电接地装置
。

9.3.17 特种气体站房排风系统不得与火灾报警辖档酮动控制；火灾爆发时，严禁关闭排风系统
。

-10 特种气系一切工程施工-

10.1 一样平常划定

10.1.1 特种气系一切工程施工应切合现行国家标准《工业金属管道工程施工规范》GB50235、《工业金属管道工程施工质量验收规范》GB 50184、《现场装备、工业管道焊接工程施工规范》GB 50236和《现场装备、工业管道焊接工程施工质量验收规范》GB50683 的有关划定
。

10.1.2 特种气系一切使用的不锈钢管道应接纳自动轨道氩弧焊机焊接，高纯氩气；
。

10.1.3 装置和试验检测用计量用具应经磨练及格并在有用期内使用
。

10.1.4 特种气系一切工程施工前应体例专项施工计划，并应经业主审批后实验
。

10.1.5 主要装备质料进场应提供下列文件：

1 产品及格证、质量包管书、性能测试报告；

2 产品装置、使用、维护和试验要求等手艺文件；

3 产品规格、型号、数目、装备附件及专用工具
。

10.1.6 装备质料进场验收、焊接样品判断时，建设单位手艺职员应在场磨练确认
。

10.2 主要装备、质料进场验收

10.2.1 气瓶柜、气瓶架、阀门箱、阀门盘进场验收应切合下列划定：

1 外包装上应具有避免倾倒、轻放、防雨标识、防震标识，并应完整无损；

2 外貌应平整光洁、色泽一致、无毛刺、无划痕、无锈蚀、不起鼓；柜体顶部应设抽风口，柜门下方应设可调理空气过滤网进风口；

3 面板上应有气体的名称、化学式、浓度、化学性子和危险标记的标识，并应有管线、阀体及附件相互毗连的系统图；同时，应配有与其对应的操作手册；

4 内部引出的管路和阀件接口应用专用管帽和堵头封堵；

5 在运输历程中盘面内应保有不低于0.1MPa(表压)压力的氮气；

6 阀门、仪表与面板之间应有专用阀门支持件，支持件材质应接纳不锈钢；不得将阀门、仪表等直接用螺栓牢靠在面板上
。

10.2.2 尾气处置惩罚装置进场验收应切合下列划定：

1 尾气处置惩罚装置进场应对外观、形状尺寸、组成、接口、铭牌、气密试验、阀门行动、信号传输等性能举行检查和核对；

2 尾气处置惩罚装置的主要组成件、附件应切合设计与条约的要求，随机资料和专用工具应齐全；

3 酸碱中和装置的洗涤塔、风机、泵、控制盘、酸(碱)储罐以及毗连受路等应举行外观检查，随机资料应齐全；

4 尾气处置惩罚装置、风机、泵的出厂及格证、性能测试报告，铭牌、标识应齐全；

5 辖档枉程图、控制原理图、装备使用说明书应齐全
。

10.2.3 管道、管件和阀门进场验收应切合下列划定：

1 在非清洁室全数目测检查管道外包装，不得有破损、变形；

2 检查及格的管道、管件及阀门搬入清洁室前，应在缓冲间(前室)去除外包装薄膜；搬入清洁室后，应按种类、规格划分存放在清洁室的货架上，不得直接放在地面上
。清洁室的清洁度宜优于或即是7级(0. 5µm)；

3 进场的管道、管件和阀门应有产品规格、型号、及格证、材质证实、使用说明书、磨练报告
。

10.2.4 管道、管件和阀门应在清洁室内举行内包装开封检查，并应切合下列划定：

1 管道、管件、阀门应有自力的内包装，端口均应装有防尘帽；

2 管道、管件、阀门检查后应恢复内包装及防尘帽；

3 管道外观检查应按全数的5%以上抽查，规格尺寸、壁厚，圆度、端面平整度等应切合产品的手艺要求；

4 材质检查宜接纳便携式金属光谱剖析仪检查，每批每种规格应随机抽查5%以上，且不得少于1件，其化学因素应切合材质质量包管书及相关要求；

5 管道、管件内外貌粗糙度应接纳样品较量法在管道两头检查，每批每种规格应随机抽查5％以上，且不得少于1件，有缺乏格时应加倍抽查；

6 管道内壁平均外貌粗糙度Ra及最大外貌糙度Rmax应知足设计文件的要求
。

10.3 气瓶柜与气瓶架的装置

10.3.1 气瓶柜和气瓶架应按设计要求定位
。

10.3.2 气瓶柜气瓶架就位找平、找正后，应牢靠牢靠
。

10.3.3 气瓶柜和气瓶架的笔直度误差不应大于1.5%成列盘面的笔直度误差不应大于5mm
。

10.3.4 气瓶柜的装置应确保柜门开关自若，不得扭曲变形、关闭不严
。

10.4 阀门箱与阀门盘的装置

10.4.1 阀门箱和阀门盘应牢靠在专用支座上或牢靠支架牢靠在梁、柱与墙上，不得将阀门箱直接牢靠在地面上
。

10.4.2 阀门箱和阀门盘的支座宜接纳专用镀锌型钢、专用喷塑型钢或专用不锈钢型钢装配式毗连，不宜接纳焊接
。

10.4.3 阀门箱和阀门盘的笔直度误差不应大于1.5‰，成列盘面的笔直度误差不应大于5mm
。

10.4.4 阀门箱与阀门盘就位找平后，应牢靠牢靠
。

10.4.5 毗连阀门与阀门盘、阀门箱的螺栓应为不锈钢螺栓，不得将阀门和管道系统与任何未经处置惩罚的碳钢件直接接触
。

10.5 尾气处置惩罚装置及纯化器的装置

10.5.1 尾气处置惩罚装置装置应切合现行国家标准《机械装备装置工程施工及验收通用规范》GB50231的有关划定
。

10.5.2 尾气处置惩罚装置的基础应结实平整，水平度不得大于3‰
。

10.5.3 每个系统的管线及阀门都应贴上显著的准确标识，阀门应开关无邪，锁定装置应可靠
。

10.5.4 干式尾气处置惩罚装置及纯化器装置时，应避免吸附剂恒久接触空气
。

10.6 特种气体管道装置

10.6.1 特种气体管道下料、预制应切合下列划定：

1 事情职员应衣着清洁服、清洁口罩、清洁无尘手套在清洁室内举行下料、预制等各项操作，不得用裸手接触管口及管道内壁；

2 管外径小于或即是1/2”的管道切割应使用不锈钢管切管器，切割后应以平口机处置惩罚管口，并应用专用倒角器去除管口内外毛刺，管口端面应笔直、稳固形，知足不加丝自动轨道氩弧焊要求；不得使用塑料管割刀替换；

3 平口机处置惩罚管口时应将管口向下，并应在另一端管口用高纯氮气快速吹扫，不得将刚平口处置惩罚的管口向上；

4 管外径大于1/2"的管道切割应接纳不锈钢管清洁专用切割机，切割时不得使用润滑油：切口端面应笔直、无毛刺、稳固形；知足不加丝自动轨道氩弧焊要求；不得使用手工锯、砂轮切割机切割；

5 管道切管作业时，应划分从两头管口将高纯氮气或氩气通入管内，并不得损伤管道外壁；

6 管口倒角作业时，不得损伤管道内壁，并不得接纳什锦锉对管口举行倒角；

7 管道吹扫完毕，应使用不产尘的清洁布沾上异丙醇或无水乙醇将切割管口洗濯清洁，应迅速用清洁防尘帽或清洁胶带将管口封堵；

8 切割竣事后，剩余管材应以清洁防尘帽封或清洁胶带堵后装入包装袋中；

9 管道预制焊接总长度不应凌驾12m，预制时应安排在专用支座上，支点数目不得少于4个；管道运输时每3m长度应设一个支点
。

10.6.2特种气体管道配管应切合下列划定：

1 凭证管道系统单线图，应将划定尺寸的管段及预制好的管道有序放在管架上，用专用夹具定位后举行预毗连，并应通入适量的高纯氩气举行；；

2 支架宜接纳碳钢喷塑、不锈钢、热镀锌C型钢或铝合金的槽式桥架组合；

3 支架应接纳机械切割，不得气割，切割后的端头应倒角并涂环氧漆后加盖塑料封头；

4 当接纳有盖槽式不锈钢桥架或铝制桥架时，应接纳树脂薄板将桥架与钢制综合支架隔离；

5 管外径小于或即是1/2“管道宜接纳a型不锈钢管卡或镀镍电工管卡；大于或即是3/4”管道宜接纳U型不锈钢管卡或带塑料管制的镀锌P型卡；

6 管外径大于1/2”的管道弯头应接纳制品弯头；管外径小于或即是1/2”的弯头可在现场使用专用弯管器揻制，BA级管道弯头弯曲半径不应小于管外径的3倍，EP级管道弯头弯曲半径不应小于管外径的5倍，公、英制弯管器不应混用；

7 不锈钢管道密封讨论的密封垫片应凭证气体的性子接纳不锈钢垫片或镍垫片，严禁接纳非金属垫片、有划伤的垫片以及将使用过的垫片，在统一密封面应接纳一个垫片；

8 特种气体管道与用气生产工艺装备之间的毗连应接纳不锈钢管道面密封讨论或自动轨道氩弧焊机焊接，不得接纳非金属软管；管道穿鞘诳位应设套管，并应以难燃质料填充套管与管道之间的间隙：同时应对穿鞘诳位加以密封
。

10.6.3 特种气体管道焊接应切合下列划定：

1 施工单位在工程开工前应对加入该工程的焊工举行认证，并应向建设单位提交管道焊接样品、焊接及格确认单，经建设单位项目手艺认真人签字确认后方能举行焊接施工，施工单位应保存及格的焊接样品和纪录；

2 应使用自动轨道氩弧焊机焊接，所用氩气纯度不得小于99.999%,焊接用气体应加装可调理流量计显示气体流量，内；てψ把沽萍嗖夤苣谘沽；

3 在正式焊接前、替换焊头后、替换钨棒后、改变焊接受径、焊机电源关闭重新启动后都应举行焊接测试，焊接测试样品经质量磨练员检查及格并填写焊接及格确认单后方可正式施焊；在竣事焊接前也应举行焊接测试，并应检查正式施焊后所焊焊接讨论是否及格；

4 焊接前应体例焊接工艺规程和绘制系统的单线图，单线图上应对焊接讨论举行编号，编号应与焊接纪录的焊接讨论编号一致；

5 应严酷凭证焊接工艺规程要求举行焊接，焊接历程中应做好焊接纪录，焊接讨论处应标明焊接时间、焊工姓名或焊工钢印号、焊接讨论编号、介质名称；

6 对接讨论组对时应对称匀称，讨论错边量不应大于管壁厚度的10%，且管道不得在焊接讨论的位置弯曲；

7 管外径大于或即是1"时，焊接前应先接纳手工氩弧焊机举行不加丝对称点焊预毗连，点焊时管内应通入高纯氩气举行；，点焊后应对焊点举行清洁处置惩罚，并应用清洁胶带密封焊接讨论；

8 焊机应接纳专用配电箱，当电源电压不稳固时应接纳自动稳压装置供电
。焊机本体应可靠接地；

9 焊接时的；て辶髁坑σ宰龊附友返谋；て辶髁课；施工历程中应一连充气；
。施工中止时可降低充气流量，但应确保管内呈正压；

10 每一个系统焊接完成后，均应充高纯气或氮气正压；；

11 外焊缝宽度应为管壁厚度的2.5倍~4.0倍，内焊缝宽度不应小于外焊缝宽度的2/3倍，焊缝不应有裂纹、未焊透、未熔合焊接缺陷，不得有气孔、夹渣、咬边等缺陷
。焊缝错边量不应大于管壁厚度的10%，管内、外焊缝凹、凸起高度不应大于管道壁厚的10%
。

10.6.4 低蒸汽压特种气体管道施工除应切合本标准第10.6.1条～第10.6.3条的划定外，还应切合下列划定：

1 管路应装置伴热带并用保温棉包覆管路；

2 当管道穿越温差较大区域时应分段加热
。

10.6.5 双层管特种气体管道施工除应切合本标准第 10.6.1条~第 10.6.3条的划定外，还应切合下列划定：

1当双层管焊接施工时，应先实验内管的焊接，并在焊接讨论处应装置滑套；

2 当双层管焊接外管及滑套时，内管和外管都应充高纯氩气；，宜接纳自动轨道氩弧焊机焊接；

3 内管焊接完成后应先做压力试验和氦检漏，确认内管无走漏后，方可焊接外管上的滑套；

4 双层管的内管和外管之间应装置弹簧举行隔离，内管和外管不得直接接触；5双套管施工宜接纳分段阻遏的方法施工，从气瓶柜到阀门箱的外层套管不得所有相通
。

10.7 特种气体管道改扩建工程施工

10.7.1 改建、扩建、拆除特种气体管道工程的施工应切合下列划定：

1 施工单位在开工前应体例施工计划;内容应包括重点部位、作业历程注重事项，危险作业历程的监控，应急预案，紧迫联系电话和专门认真人，对潜在的危险应向施工职员举行详尽的手艺交底；

2 生产区与施工区之间应接纳暂时隔离步伐及设置危险警示标记，施工职员不得进入与施工无关的区域；

3 施工现场应有业主和施工方的手艺职员在场，阀门的开关行动、电气开关行动、气体置换操作等都应由专人在业主手艺职员的指导下完成，未经允许，不得操作；切割刷新事情时应提前在被切割管道全线和切割处显着标识，标识管道现场需获得业主和施工方的手艺职员确认
。

10.7.2 施工前应将管道内的特种气体用高纯氮气完全置换，被置换出的气体应经由尾气处置惩罚装置处置惩罚，达标后排放
。

10.7.3 施工完毕、测试及格后，应将管道系统内充入0.1MPa(表压)的高纯氮气
。

-11 特种气系一切工程验收-

11.1 一样平常划定

11.1.1 特种气系一切验收应包括装备验收、管路系统验收和气体探测(监控)系统验收等
。

11.1.2 特种气系一切的验收应切合现行国家标准《工业金属管道工程施工质量验收规范》GB50184 和《工业金属管道工程施工规范》GB 50235的有关划定
。

11.2 装备验收

11.2.1 装备验收应凭证装备工艺流程图、设置表以及钢瓶容器接口形式、使用压力品级等参数对装备内部的管路流程、各部件的选型和装置等举行磨练
。

11.2.2 装备验收应检查装备出厂的测试磨练报告，装备定位装置后宜对盘面再次举行压力、氨检漏测试
。

11.2.3 装备供应商应提供及格的现场装备功效调试报告与操作手册，监控部件的功效、参数设置和联锁、联行动用等应切合设计要求
。

11.2.4 装置在防爆区域内的装备，其电器部件应切合相关防爆要求
。

11.2.5 尾气处置惩罚装备的验收应包括外观检查，工艺流程磨练，装备部件功效测试，装备供应商应提供及格的现场装备功效调试报告与操作手册
。

11.3 管路与系统验收

11.3.1 管路装置完成后应首先举行包括管件的装置位置和偏向，弯头揻制，焊接质量的外观检查
。

11.3.2 管路外观检查及格后，应按划定举行压力，氦检漏，颗粒，水分，氧分等5项测试，测试及格后应提交响应测试报告并获得相关职员的签字认可
。

11.3.3 管路及系统验收应检查其组成部件的质量文件，施工历程中的焊样、焊接日志应完整并具有可追溯性
。

11.3.4 系统验收前应先确定现场合有缺失项都已整改完成并获得相关职员签字确认，所有完工文件资料都已提交相关部分
。文件的磨练应包括但不但限于完工图纸，最终手艺标准，报审、报验报告，焊接日志，测试、调试报告，操作说明书
。

11.4 气体探测(监控)系统验收

11.4.1 特种气体探测器装置完成后，应检查探测器的数目、类型、规范时间、报警设定和装置位置、取样管长度、排放管排放位置、电源信号接线，出厂质量文件等内容
。

11.4.2 凭证控制逻辑图，应对探测器的报警和切断输出信号举行点对点模拟测试，并应包管联动控制和声光报警准确行动
。

11.4.3 监控系统的验收应检查包括电脑内存和硬盘容量、CPU选型、控制箱面板、输入输出装备位置和数目、电缆规格、电源、接地等设施应切合设计文件的划定
。

11.4.4 测试软件系统图形应与现实系统应一致，系统内的各项设置应切合设计要求
。

-附录-

附录A 特种气体管道氦检漏要领

A.0.1 顺序宜接纳内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法
。

A.0.2 内向检漏法(喷氦法)应接纳管道内部抽真空，外部喷氦气的要领检漏，测试管路系统的走漏率
。

A.0.3 阀座检漏法应接纳阀门上游充氦气，下游抽真空的要领检漏，测试管路系统的走漏率
。

A.0.4 外向检漏法(吸枪法)应接纳管路内部充氦气或氦氮混淆气，外部应接纳吸枪检查漏点的要领检漏，测试管路系统的走漏率
。

A.0.5 氦检漏仪表应接纳质谱型氦检测仪，其检测精度不得低于1X10-10mbar·L/s
。

A.0.6 特种气系一切氢检漏的走漏率应切合下列划定：

1 内向测漏法测定的走漏率不得大于1X10-9mbar·L/s;

2 阀座测漏法测定的走漏率不得大于1X10-6mbar·L/s;

3外向测漏法测定的走漏率不得大于1X10-6mbar·L/s
。

A.0.7 氦检漏发明的走漏点经修补后，应重新经由气密性试验及格后，然后按划定再举行氨检漏
。

A.0.8 所有可能走漏点应用塑料袋举行隔离
。

A.0.9 系统测试完毕，应充入高纯氮气或气，并应举行吹扫
。

A.0.10 测试完毕后，应提交测试报告
。

附录B 电子工业用特种气体的主要物化性子(简单气体）

表B 电子工业用特种气体的主要物化性子(简单气体)

- 说明 -

本标准用词说明

1 为便于在执行本标准条文时区别看待，对要求严酷水平差别的用词说明如下：

1) 体现很严酷，非这样做不可的：

正面词接纳“必需”，背面词接纳“严禁”；

2) 体现严酷，在正常情形下均应这样做的：

正面词接纳“应”，背面词接纳“不应”或“不得”；

3) 体现允许稍有选择，在条件允许时首先应这样做的：

正面词接纳“宜”，背面词接纳“不宜”；

4) 体现有选择，在一定条件下可以这样做的，接纳“可”
。

2 条文中指明应按其他有关标准执行的写法为：“应切合….的划定”或“应按……执行”
。

引用标准名录

《修建设计防火规范》GB 50016

《修建物防雷设计规范GB 50057

《爆炸危险情形电力装置设计规范》GB 50058

《自动喷水灭火系统设计规范》GB 50081

《修建灭火器设置设计规范》GB 50140

《工业金属管道工程施工质量验收规范》GB 50184

《修建内部装修设计防火规范》GB50222

《机械装备装置工程施工及验收通用规范》GB 50231

《工业金属管道工程施工规范》GB 50235

《现场装备、工业管道焊接工程施工规范》GB 50236

《工业金属管道设计规范》GB 50316

《现场装备、工业管道焊接工程施工质量验收规范》GB 50683

《消防给水及消火栓系统手艺规范》GB 50974

《流体运送用不锈钢无缝钢管》GB/T 14976

《危险化学品重大危险源辨识》GB 18218

《化工装置工艺系统工程设计手艺划定》HG/T 20570